吴工的声音带着复杂的情绪,有敬畏,有赞叹,更有深沉的无奈,“我们内部叫它‘晶圆微刻巨匠’。它利用特殊的光线,把芯片设计图纸上的电路图案,精准地‘雕刻’到涂了光刻胶的硅晶圆上,精度要达到纳米级…相当于在头发丝的万分之一那么细的地方,刻出比蜘蛛网还精细的图案。”
他指着那台机器上一个不起眼的品牌LOGO——
一个简洁的字母组合:AMSL。
“荷兰阿斯麦(ASML)的DUV光刻机(深紫外光刻),还是几年前好不容易买到的上一代型号。它,曾经是我们能稳定量产28纳米芯片的关键。”
吴工的语气变得沉重,“但现在…禁令一下,阿斯麦彻底断供!不仅新的买不到,连这台机器的维护工程师、备件、校准软件更新…统统没了!它现在就是个…被掐断了喉咙的巨人。”
林薇的心猛地一揪。她想起“星火”研究院里那张对比图,28纳米“海蛟”与7纳米“麒麟”之间巨大的性能鸿沟。而眼前这台被断供的光刻机,就是那道鸿沟最直观的具现!没有更先进的光刻机,7纳米、5纳米乃至更高的制程,就是遥不可及的梦!
“那现在…我们怎么维持‘海蛟’的生产?”林薇追问,声音带着一丝不易察觉的干涩。吴工没有直接回答,而是示意林薇跟着他,走进了旁边一个相对小一些、设备也略显陈旧的车间。
“这边是我们的‘优化攻坚区’,也是现在最忙的地方。”这里的气氛与主洁净室的精密肃穆不同,多了几分紧张和烟火气。工程师们围在几台明显是国产或老旧型号的光刻设备旁,有的在仔细调试复杂的参数,有的在拆解部件进行深度清洁和检查,有的则对着电脑屏幕上的模拟数据和设计图激烈讨论。
空气中弥漫着焊锡、酒精和润滑油混合的味道。
“这台,”吴工指着一台外壳有些磨损、铭牌模糊的设备,“是我们国产‘上微电子’攻关多年的深紫外光刻机原型机,精度和稳定性离阿斯麦那台还有差距。这台,”他又指向另一台更老旧的机器,“是早些年从日本买的二手货,精度只能支持40纳米以上制程。”
林薇看着这些“老弱病残”,心不断下沉。靠这些,能撑起“海蛟”的量产?
“没办法,只能‘螺蛳壳里做道场’!”吴工的声音却带着一种近乎倔强的昂扬,“没有阿斯麦的金刚钻,我们就把手里这些‘铁杵’磨成针!”
小主,