原来，光刻机在长时间运行后，由于内部电机发热、环境温度微变等因素，导致了工件台和掩膜版之间产生了微米的相对位移。虽然“女娲”系统已经有了补偿算法，但在如此复杂的动态环境下，依然显得力不从心。

“我们需要更聪明的算法。”

李晓宇将目光投向了林涛。

“林涛，调动‘盘古’阵列的所有算力！我要你建立一个涵盖光刻机内部所有热源、振动源和应力源的‘全机物理场动态模型’！”

“我们要预测未来！在误差发生之前，就把它计算出来，并补偿掉！”

这是一项浩大的工程。林涛带领着算法研究院的精英们，在上海的临时办公室里，进行了为期两周的封闭开发。他们采集了海量的传感器数据，训练出了一个针对“神光一号”特性的深度学习模型。

这就是——“基于热场模型的实时套刻补偿算法”！

两周后，算法升级完毕。

第二批晶圆，再次被送入光刻机。

这一次，所有人都屏住了呼吸。

控制屏幕上，代表着套刻误差的曲线，在算法的强力介入下，被死死地压在了一条直线的附近，波动幅度甚至小于10纳米！

当最后一批晶圆下线，赵国栋亲自拿着测试探针，一个个地进行检测。

“第一片，合格！”

“第二片，合格！”

……

“第二十五片，合格！”